CMP röð búnaðarins sem sjálfstætt er þróaður af LSTD veitir framleiðendur hálfleiðara efni eins og SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, Diamond o.fl. Sjálfvirk framleiðslulína fyrir kísilkarbíð fægja verður afhent til verksmiðju viðskiptavinarins til prufuframleiðslu í Q 1 2024;
Á grundvelli upprunalegu rannsóknarstofunnar verða milljónir Yuan fjárfestar til að byggja 100000 stig, 10000 stig og 100 stig hrein herbergi og nákvæmni prófunarbúnað, sem verður skoðaður og tekinn í notkun á seinni hluta 2024.
6 "/8" sic skífufússlína
6 "/8" sic wifer
Hreinsunarherbergi 100 bekkur
Multi-rista hreinsivél
Skoðunargeta
