Stjórnunarkerfi fyrir pússandi slurry
LSTD CP röð efna-vélræna fægivélar eru hannaðar til að mæta nákvæmri efna-vélrænni fægja eftirspurn hálfleiðara obláta eins og Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC og svo framvegis. Vélar eru með bæði kraftmikinn stöðugleika og sérsniðna notkun. Faglegt hönnunarteymi, vinnslu- og þróunarteymi og vélasmíðateymi ásamt hæfri nauðsynlegri aðstöðu veita tryggingu fyrir árangursríkri afhendingu CP röð hálfleiðarabúnaðar.
Fægingarkerfi fyrir slurry （CDS）:
Dæmigerðar aðgerðir:
▲ Geymslustjórnun á hrárri vökvatunnu
▲ sjálfvirkur (fjarlægur) flutningur stofnlausnar
▲ öruggt framboð á stofnlausn
▲ viðhald á birgðakerfi stofnlausnar án lokunar
Pússandi slurry blöndun og miðlæg birgðakerfi:
Dæmigerðar aðgerðir:
▲ magnþynning fægilausnar
▲ blöndun fægilausnar
▲ fægja vökva hitastýringu
▲ andstæðingur kristöllun og hreinsunaraðgerð til að fægja vökva tunnu og leiðslu
▲ síun og fjarflutningur á fullunnum fægivökva
▲ viðhald kerfisins án lokunar
Fægingar- og endurrásarkerfi fyrir slurry:
Dæmigerðar aðgerðir:
▲ magnþynning fægilausnar
▲ blöndun fægilausnar
▲ fægja vökva hitastýringu
▲ andstæðingur kristöllun og hreinsunaraðgerð til að fægja vökva tunnu og leiðslu
▲ síun og fjarflutningur á fullunnum fægivökva
▲ viðhald kerfisins án lokunar
maq per Qat: fægja slurry stjórnunarkerfi, Kína fægja slurry stjórnunarkerfi framleiðendur, birgja, verksmiðju
chopmeH
MFL-400 fjölnota lappavélveb
Engar upplýsingarÞér gæti einnig líkað
Hringdu í okkur