Efnafræðilega fægivélin er ferliprófunartæki notað á sviði rafeinda- og samskiptatækni, flug- og geimvísinda og tækni.
Notaðu afjónað vatn til að líma kísilskífur eða notaðu lofttæmandi kísilskífur til að fægja, yfirgefa hefðbundna leið til að vaxa og líma kísilskífur, sem stuðlar að því að hreinsa kísilskífur eftir fæging. 2. Með bakþrýstingsvirkni getur það bætt einsleitni fægja verulega. 3. Útbúinn með fægja endapunktsgreiningarkerfi til að koma í veg fyrir ofslípun. Ef þú tekur SiO2 sem dæmi, WIWNU (ójafnvægi í flís) Minna en eða jafnt og 3 prósent, WTWNU (ójafnvægi í flís) Minna en eða jafnt og 5 prósent og RMS (20μm ×20μm) er minna en 0,4nm.
